Product Description
型 號 | 尺 寸
mm |
作業面尺寸 mm | 磁極間隔 | 高度 | 適用真空源裝置 | ||||
B1 | L1 | Be | Le | P1 | P2 | ||||
KVR-AV1018 | 100 x 175 | 100 | 175 | 57.5 | 132 | 12 | 11.5 | 70 | VPU-E10-AV |
KVR-AV1530 | 150 x 300 | 150 | 300 | 96 | 240 | 12 | |||
KVR-AV2040 | 200 x 400 | 200 | 400 | 144 | 348 | ||||
KVR-AV3060 | 300 x 600 | 300 | 600 | 228 | 540 |